삼성 이어 하이닉스도 '탈 일본' 착수
건식 식각 가스에 일본 기술력 필수적
불산 "구시대적 유독성 물질" 목소리도
조재훈 기자 (cjh1251@ebn.co.kr)
2019-07-17 15:49:00
▲ ⓒ삼성전자

삼성전자와 SK하이닉스가 일본산 불화수소(불산,HF) 공급 규제의 대안으로 국내업체와 러시아, 중국 등 해외업체와 제품 거래를 타진하면서 활로를 모색하고 있다.

동시에 그간 논란이 돼온 '일본 불화수소 필수설'을 부정하는 목소리도 커지고 있다. 반도체 식각 공정기술이 발달할수록 불화수소 의존도가 줄어들기 때문이다. 일각에서는 일본을 대체할 공급처가 많아 걱정할 필요가 없다는 의견도 고개를 들고 있다.

17일 업계에 따르면 김동섭 SK하이닉스 사장은 지난 16일 긴급히 일본으로 출국했다. 일본 현지 원자재 협력사 방문을 위해서다.

삼성전자 이재용 부회장도 지난 7일부터 12일까지 도쿄 출장을 다녀왔다. 삼성전자와 SK하이닉스는 일본산 반도체 재료들을 전수조사한 뒤 국산화가 가능한 품목을 모색한다는 방침이다.

전자업계 관계자는 "일본 규제 이전에도 국산 소재를 사용해왔지만 최근 일본과의 마찰로 국산 불화수소 등 다른 제품의 품질 테스트를 확대해 진행하고 있는 것으로 안다"고 말했다.

업계는 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 반도체 업체들이 국산 에칭 가스를 사용하려면 공정 변경과 테스트에 최소 수개월 이상의 시간이 필요하다고 보고 있다. 양사는 우선적으로 해외의 고순도 식각 가스 수입처를 확보하는 방향으로 대응하고 있는 양상이다. 초기에는 일정 수준 이상의 수율 하락이 불가피해서다.

국내업체로는 불화수소의 경우에는 솔브레인 등이 식각액을 납품하고 있다. 식각액은 습식 식각 공정에 사용된다. 습식 식각 공정은 빠르고 넓은 부분을 식각하기 위해 쓰인다. 세밀하게 좁은 부분을 식각할 때는 건식 식각 공정이 적용된다. 일본에서 수출을 규제하는 품목은 건식 식각에 쓰이는 '식각 가스'다.

도현우 NH투자증권 연구원은 "일본 업체들은 건식 식각 공정에 사용되는 가스 제조 기술
력이 매우 뛰어나다"며 "초기에는 일정 수준 이상의 수율 하락도 불가피하기 때문에 반도체 업체는 우선적으로 해외의 고순도 식각 가스 수입처를 확보하는 방향으로 대응하고 있다"고 설명했다.

일각에서는 기술 발달로 인해 불산이 반도체 공정에서 쓰임새가 점차 줄어들 것이라는 목소리도 나온다.

반도체업계 관계자는 "불산을 사용하면 건식 식각이든 습식 식각이든 등방성(원형으로 파이는 현상)이 나타나 포토레지스트 아래가 무너져 내리는 현상이 발생한다"며 "나노 단위가 작아질수록, 선폭이 미세화될수록 건식 식각인 스퍼터링 방식, RIE 기술 등으로 발전해 불산 사용은 줄어들 수 밖에 없다"고 말했다.

이어 "불산은 구시대적인 유독성 물질이며 불산을 대체할 좋은 재료들이 나오고 있다"며 "환경을 파괴하는 불산을 넘을 기술력있는 기업, 기초과학 연구진 등에 대한 정부 차원의 투자가 절실하다"고 말했다.
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